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用于掩膜刻寫與檢測的2kHz IndyStar準分子激光器
材料來源：Coherent           錄入時間：2010-7-23 11:36:19

 

相干公司2kHz高重復頻率IndyStar準分子激光器是半導體工業(yè)中超高精度的193nm和248nm照明光源。IndyStar準分子激光器的2kHz重復頻率及其高穩(wěn)定性，在基于紫外激光生產和質量檢測的光掩膜中起到至關重要的作用，可獲得更小的微芯片結構。

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