作者：Greta

圖：Manz集團首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Dieter Manz先生

為滿足全球市場對高效率、低成本太陽能電池激增的需求，Manz亞智科技在第八屆上海國際太陽能光伏展（SNEC2014）期間推出了轉(zhuǎn)換率高達(dá)20.5%的晶硅太陽能電池生產(chǎn)解決方案，成功優(yōu)化了晶硅太陽能電池的生產(chǎn)技術(shù)。

Manz新一代生產(chǎn)工藝采用VCS 1200電漿輔助化學(xué)氣相沉積(PECVD)垂直式真空鍍膜系統(tǒng)，在電池背面沉積氧化鋁鈍化層，結(jié)合Manz LAS 2400激光開孔技術(shù)，可幫助電池生產(chǎn)企業(yè)在實現(xiàn)高效晶硅太陽能電池規(guī)�；�生產(chǎn)的同時，將成本降至最低。與市場同類系統(tǒng)相比，Manz易于維護的全自動化設(shè)備體積更小、效率更高，適用于單晶硅和多晶硅太陽能電池生產(chǎn)。Manz可為客戶提供必要的生產(chǎn)設(shè)備和工藝技術(shù)，幫助其升級標(biāo)準(zhǔn)電池生產(chǎn)線，生產(chǎn)更高效的PERC電池。

Manz VCS 1200系統(tǒng)采用全新的垂直式工藝技術(shù)，產(chǎn)量高達(dá)每小時1,200個硅片。由于配備高效能電漿和新式載具系統(tǒng)，該鍍膜工藝不會在硅片上留下任何針印或未鍍區(qū)，這一技術(shù)優(yōu)勢正是其他許多同類廠商的所不具備的。此外，VCS 1200系統(tǒng)使得PECVD層可以實現(xiàn)單面沉積，而不會出現(xiàn)另一面也有邊緣沉積的情況。

與VCS 1200系統(tǒng)一起推出的還有Manz LAS 2400激光開孔系統(tǒng)。該系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案。Manz激光開孔技術(shù)為一站式工藝，不僅在這一電池生產(chǎn)流程保證了最低擁有成本，還實現(xiàn)了硅片的安全處理，將破片率降至業(yè)界最低。LAS 2400系統(tǒng)采用模塊化、小體積設(shè)計，非常適宜現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級。該系統(tǒng)每小時總產(chǎn)量為2,400個硅片，開孔寬度為30~100µm。Manz晶硅太陽能電池生產(chǎn)解決方案結(jié)合了VCS1200及LAS2400的所有優(yōu)勢，能將PERC太陽能電池的效率提升至20.5%。

此外，Manz還提供了業(yè)界領(lǐng)先的濕化學(xué)處理工具IPSG CEI 4800，可與VCS 1200和LAS 2400生產(chǎn)工具配備形成一套完善的技術(shù)解決方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及邊緣的重?fù)诫s層，從而形成化學(xué)除邊（CEI）。并在接下來的流程中，去除在之前擴散過程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃（PSG）層。由于應(yīng)用了柔軟的海綿輥和最小化基板壓力的概念，IPSG CEI 4800可實現(xiàn)最低破片率。

在新聞發(fā)布會上，Manz 集團首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Dieter Manz表示：“在光伏產(chǎn)業(yè)，Manz專注于晶硅太陽能電池和薄膜太陽能模塊的生產(chǎn)工藝和解決方案。在晶硅領(lǐng)域，Manz可提供金屬化、激光加工、濕化學(xué)處理以及真空鍍膜相關(guān)的生產(chǎn)工藝和設(shè)備，同時還可提供自動化解決方案以及測試與檢驗方面的專業(yè)知識。”

Dieter Manz先生最后表示，目前電池廠家的生產(chǎn)解決方案都應(yīng)從效率、成本、安全等因素來滿足客戶需求。Manz亞智科技在這方面也卓有成效。在未來兩三年，Manz的策略就是要在中國建立自己的工程部門。“以前的設(shè)備開發(fā)是由德國來做，因此我們在把握本土市場和客戶需求的敏銳度方面有待提高。” Dieter Manz說道，“其實在德國做開發(fā)，時間、設(shè)備、材料等很多東西在德國就已經(jīng)定型了，本土化生產(chǎn)時，成本降低不會太多，這樣就不能夠適應(yīng)市場未來競爭的需要。因此，我們希望未來會在中國設(shè)立自己的工程部門，讓我們在最初針對客戶需求而設(shè)計的時候，就已經(jīng)考慮到中國生產(chǎn)的可能性，更大幅度地降低成本，這是我們未來的一項策略。”