文/Yuji Imamiya，Satoru Akama，Yoshihito Fujita，Haruhiko Niitani；三菱重工

近年來，隨著電子產(chǎn)品越來越小，包括電子部件和印刷電路板在內(nèi)的這類裝置中使用的各種部件，也已經(jīng)小型化并且越來越復(fù)雜。因此，對包括鉆孔在內(nèi)的超精密加工的進一步小型化和提高質(zhì)量的需求，正不斷增長。作為滿足這種需求的一種手段，利用短脈沖、短波長激光的加工方法已經(jīng)引起關(guān)注。使用諸如皮秒脈沖激光的短脈沖激光器，能夠?qū)崿F(xiàn)沒有熱效應(yīng)的冷燒蝕，從而獲得質(zhì)量優(yōu)異的高精度加工。

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