顆粒測(cè)量是對(duì)樣品中的顆粒進(jìn)行計(jì)數(shù)和篩分的過程，可對(duì)空氣或液體進(jìn)行測(cè)量。此技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓制造等 工業(yè)制程工藝中非常重要，流體的高純度是其中的一項(xiàng)要求，如果存在顆粒污染物，則會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢或系統(tǒng)損壞。