相干公司的新型UVtransfer是一個集成式激光系統(tǒng)，用于執(zhí)行MicroLED制造中的三道重要工藝-激光剝離（LLO）、巨量轉(zhuǎn)移 （LIFT） 和激光修復(fù)。

UVtransfer可支持研發(fā)及試驗線生產(chǎn)，該系統(tǒng)基于高能量準(zhǔn)分子激光技術(shù)，此技術(shù)同樣使用于LTPS顯示背板的退火工藝，并在大規(guī)模量產(chǎn)中得到長期驗證。

MicroLED（μLED）帶來令人興奮的機遇，有望降低超大顯示屏以及部分小型顯示屏應(yīng)用的成本。到目前為止，使用μLED組裝大型顯示屏仍面臨一些挑戰(zhàn)。這是因為，數(shù)量極大的小尺寸有源裸芯片都必須從生長晶圓精確轉(zhuǎn)移到最終的玻璃基板。

為提高工藝效率并降低裸芯片成本，生長晶圓上裸芯片之間的間距和間隔極小，這些加劇了挑戰(zhàn)。裸芯片尺寸預(yù)計將來還會進一步縮減 – 從50µm降至5µm。因此，批量制造工藝必須具備可擴展性以適應(yīng)這樣的更小尺寸。