該系列為分體式混合設(shè)計飛秒激光器,有紅外、綠光兩種波長可選可調(diào),平均功率可高達15W,其中綠光波段最高功率超過5W,脈沖寬度小于800fs,重復(fù)頻率100~1000kHz范圍內(nèi)可調(diào),光束質(zhì)量M2<1.3。具有優(yōu)秀的產(chǎn)品質(zhì)量以及可靠的產(chǎn)品設(shè)計。可廣泛應(yīng)用于噴油嘴鉆孔、航空航天脆性材料精密加工、OLED加工 、高效微納米級加工 、半導(dǎo)體晶圓加工 、介入式醫(yī)療器件精密加工 、電池電極微加工 、表面微結(jié)構(gòu)改性等領(lǐng)域。
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