新型 Aerotech QNP-L 平臺(tái)的行程范圍從 100 µm 到 600 µm

 

 

應(yīng)用包括： 工業(yè)與科研 實(shí)驗(yàn)室 納米技術(shù) 顯微鏡 半導(dǎo)體 微電子 測(cè)試與檢測(cè) 光學(xué) 光電 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 精密機(jī)械 金屬 生命科學(xué) 醫(yī)療器械

Aerotech (www.aerotech.com) 現(xiàn)已推出一系列壓電納米定位平臺(tái) ，結(jié)構(gòu)小巧、剛性高，有著壓納米級(jí)的性能。此款新型 QNP-L 平臺(tái)的行程范圍從 100 µm 到 600 µm ，其高精度、無摩擦的柔性鉸鏈 系統(tǒng)為其長久的使用壽命提供了保證。

這些平臺(tái)價(jià)格低廉結(jié)構(gòu)小巧，適用于需要高精度直線運(yùn)動(dòng)的實(shí)驗(yàn)室或者工業(yè)領(lǐng)域。它們具有出色的幾何性能（直線度和角誤差），同時(shí)將整體包裝尺寸降低到最小。

這系列平臺(tái)有開環(huán)和閉環(huán)兩種選項(xiàng)。閉環(huán)模式采用電容傳感器設(shè)計(jì)，能夠產(chǎn)生亞納米級(jí)定位解析度和高定位精度。這些傳感器能夠直接測(cè)量載物臺(tái)的位置，與間接反饋計(jì)量技術(shù)（例如應(yīng)變計(jì)反饋）相比具有更好的直線度和重復(fù)定位精度。

不帶反饋的開環(huán)模式是一個(gè)低成本選項(xiàng)，適用于不需要絕對(duì)定位精度和重復(fù)定位精度的用途。同時(shí)有真空兼容版本選項(xiàng)。

QNP 系列包括 XY 和 Z 平臺(tái)，這些平臺(tái)可以很容易通過轉(zhuǎn)接板組裝在一起。

Aerotech 是領(lǐng)先全球的定位和運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品供應(yīng)商，其服務(wù)對(duì)象包括工業(yè)、政府、科研和研究機(jī)構(gòu)。其產(chǎn)品為那些對(duì)于高定位精度、高產(chǎn)能運(yùn)動(dòng)控制解決方案有著苛刻要求的用途提供了至關(guān)重要的性能。