德國激光巨頭通快公司最近一個財年激光技術(shù)的銷售額增長了17％，盈利能力也急劇增長，并預(yù)計其高功率CO₂激光器放大器將在未來的幾個月內(nèi)迎來大訂單，將主要用于極紫外（EUV）光刻應(yīng)用。

在最近的一個財年，通快集團(tuán)的稅前利潤增長了44％，達(dá)到了3.57億歐元，總銷售額增長了5％、達(dá)到了27.2億歐元。激光器相關(guān)產(chǎn)品的銷售（其中包括通快采用激光器的機(jī)床配備）同比增長8％，達(dá)到18.6億歐元。

通快最近一個財年的亮點(diǎn)之一是，在柔性顯示器的生產(chǎn)中采用通快的紫外激光器，通快將今年描述為向EUV技術(shù)“過渡”的一年——盡管最初用于測試系統(tǒng)的訂單爆發(fā)后，出現(xiàn)了一段安靜時期。然而，今年4月來自芯片制造商ASML的消息無疑提振了市場信心——ASML公司訂購了15臺通快的EUV光刻工具，通快表示在不久的未來積極布局極紫外激光器。

“這項(xiàng)技術(shù)目前正處于一個決定性階段，”通快表示，“客戶針對EUV技術(shù)的實(shí)驗(yàn)室階段正接近尾聲，目前正在準(zhǔn)備最新一代芯片的大規(guī)模生產(chǎn)。” 該公司在其年度報告中補(bǔ)充道：“有了積極的實(shí)驗(yàn)室結(jié)果和長期的大訂單，制造商大都已經(jīng)接受了EUV技術(shù)的突破，而不再對該技術(shù)持懷疑態(tài)度。”

目前通快公司正投資7000萬歐元在德國迪琴根建設(shè)一座占地34000平方米的工廠，用于生成極紫外光刻所需要的激光器產(chǎn)品。“我們已經(jīng)準(zhǔn)備好了在未來的一個財年迎接大訂單，”通快公司補(bǔ)充說，今年5月，通快已經(jīng)與ASML建立了一個“戰(zhàn)略框架協(xié)議”。

預(yù)期EUV應(yīng)用訂單的迅猛增長，是通快預(yù)期目前財年中激光技術(shù)銷售將進(jìn)一步快速增長的一個關(guān)鍵因素。“我們預(yù)計EUV產(chǎn)品的主要訂單將來自于智能手機(jī)所使用的強(qiáng)化玻璃顯示屏的切割，”通快表示，“此外，紫外激光器在柔性平板顯示屏制造中的采用也將增加。”