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在高效率太陽能電池生產(chǎn)中，高速激光鉆孔是一個重要的加工步驟，特別是在需要在每個單元上鉆出10000多個通孔的發(fā)射極穿孔卷繞（EWT）太陽能電池的制造中。因為太陽能電池生產(chǎn)線上的單個加工步驟的典型持續(xù)時間為1~2秒鐘，每秒10,000個通孔的鉆空速度，是工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的最低要求。

目前市場上可獲得的激光源與掃描振鏡所能實現(xiàn)的最大鉆孔速率為每秒4000孔。采用一種新的光學概念，將高性能振鏡掃描振和激光束分頻器的結(jié)合使用，為實現(xiàn)高速激光鉆孔提供了一種潛在解決方案。這種方案要求激光源的平均輸出功率達到幾百瓦，脈沖寬度保持在微秒范圍。目前已經(jīng)有一些不同的系統(tǒng)解決方案可滿足用戶的不同需求。

研究表明，脈沖寬度和脈沖能量是實現(xiàn)高效鉆孔的關(guān)鍵因素。通過使用兩臺Jenoptik Jenlas IR 70激光器，有望在200微米厚的晶圓上實現(xiàn)9600孔/s的鉆孔速度，在180微米厚的晶圓上實現(xiàn)12500孔/s的鉆孔速度。