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工業(yè)應用
激光器在顯示屏制造中的應用——激光剝離
材料來源:相干激光           錄入時間:2022/10/21 23:44:05

激光器如何幫助制造如今的超薄高亮屏幕?上年紀的人或許還記得古董電視機的模樣。從又大又笨重的顯像管到如今輕薄的屏幕,顯示技術發(fā)生了翻天覆地的變化。

最早的平板形態(tài)電視和顯示器都基于液晶顯示(LCD)。相比舊時的顯像管技術,液晶顯示代表了顯示技術的巨大飛躍。

但是,LCD的內部結構其實相當復雜。LCD面板本身并不發(fā)光,因此需要背光、偏光片和一層彩色濾光片來產生紅色、綠色和藍色像素。所有這些因素都阻礙了設備小型化的能力,尤其是限制了柔性。  

別擔心,它是有機的

為了獲得更薄、更柔性的顯示屏,制造商開發(fā)了有機發(fā)光二極管(OLED)技術。AMOLED主動式陣列驅動顯示屏中的每個像素都包含三個發(fā)光單元(紅色、綠色和藍色),因此不需要背光。這樣AMOLED顯示屏可以做得非常薄,厚度甚至可以達到幾分之一毫米。而且這還是加上了觸摸屏功能和對比度增強等其他功能層之后的總厚度。因為AMOLED顯示屏可以做得很薄,這種屏幕甚至可以做成柔性或折疊的形態(tài)。 

但制造如此薄的顯示屏給制造商帶來了困難。制造商要在大約1.5 米 × 1.9米的單個基板上同時制作大量顯示屏,而在這么大的尺寸上加工只有幾分之一毫米厚的東西是不切實際的。又大又薄的東西在加工過程中不容易控制其形態(tài)。另外,在整個制造過程中,顯示基板必須一直保持非常高的平整度,這也很關鍵?傊,加工又大又薄的東西是難之又難。

制造超薄顯示屏的秘訣

為了解決這個問題,制造商在更厚、更堅硬的“母板玻璃”上制造顯示屏。第一個生產步驟是將薄聚合物層粘合到母板玻璃上。這個聚合物層將成為成品顯示屏的基底。接下來,將非晶硅沉積在聚合物層基底上,然后進行準分子激光退火(ELA)、創(chuàng)建驅動電路,最后制作顯示屏的其他膜層。

在這些工藝即將結束時,將顯示屏與母板玻璃分離。最終,您將獲得一塊超薄顯示屏。 

當顯示屏與母板玻璃分離后,制造過程就差不多完成了。此時,大部分成本都已經包含在顯示屏中。如果這個階段有部件報廢,則代價是非常昂貴的。這意味著分離過程務必精準輕柔。

特別要避免兩件事:第一,分離工藝不能產生任何明顯的機械力或應力,因為顯示屏極易破碎。第二,該工藝不能讓顯示屏太過受熱,因為這可能會損壞其中的集成電路。 

準分子激光器讓OLED生產切實可行

目前主流AMOLED顯示屏制造商使用一種稱為激光剝離(LLO)的分離工藝。在使用LLO前,整個面板需要翻過來,讓母板玻璃面朝上。然后,高脈沖能量激光,也就是紫外(UV)準分子激光,形成一條細長的線光斑。這條線光斑穿過母板玻璃,將其聚焦在母板玻璃與聚合物薄層基底的交界處,聚合物層之外就是顯示屏的各種電路結構。

光斑快速掃描整個母板玻璃區(qū)域。雖然紫外光穿過玻璃,但被母板玻璃與聚合物之間的粘合劑以及聚合物本身強烈吸收。激光吸收產生的熱量幾乎將粘合劑立即蒸發(fā),使顯示屏與母板玻璃分離。這就是我們想要的工藝,激光幾乎不會透入聚合物之后的顯示基板,因此不會在面板內產生太多熱量。顯示屏電路不受LLO工藝的影響。

準分子激光束快速掃描使精密的顯示屏電路與母板玻璃柔和地分離。

與ELA一樣,準分子激光器為LLO提供了理想的光源。主要有兩個原因:首先,相比其他類型的激光器,準分子激光器在紫外波段產生的脈沖能量更高。這種紫外激光被粘合劑強烈吸收,其高功率可以讓粘合劑迅速分解。這使得LLO的工藝速度能夠滿足顯示屏生產的要求。速度很重要,因為主流的顯示屏制造商每天要為超過100萬部手機供應屏幕!

此外,準分子激光束有助于形成細長線光斑。再有,它可以轉換為高勻化度的平頂光斑,而不是大多數(shù)激光器產生的高斯強度分布。平頂光斑可以實現(xiàn)比高斯光斑更大的工藝窗口。確保產線中的LLO工藝能夠有效應對激光聚焦位置的微小變化、母板玻璃的微小尺寸誤差及翹曲。    

Coherent高意公司的LLO系統(tǒng)已被世界各地的主流顯示屏制造商采用。這些系統(tǒng)將高度穩(wěn)定的準分子激光器與我們獨特的UVblade光學系統(tǒng)相結合,產生最終的線光斑。我們可以支持目前所有的顯示屏尺寸,從單個Cell到大型基板。Coherent UVblade光學元件可根據(jù)下一代柔性和可折疊顯示屏的生產要求進行擴展。

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