文/ Holger Schluter，Beat Jaeggi，Beat Neuenschwander，Markus Zimmermann

超短脈沖（USP，也稱為超快）激光器的可用性，提供了非常精確的加工能力，使激光微加工的能力不斷擴展。然而，當(dāng)優(yōu)化USP激光器的高吞吐量和高質(zhì)量的激光加工工藝時，必須考慮新的因素。首先，燒蝕效率（指以立方毫米每分鐘和瓦表示的特定去除速率）必須最大化。特別是為了實現(xiàn)良好的表面質(zhì)量，必須正確選擇激光的峰值能量密度。

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